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      壓電升降掃描臺,Z軸掃描運動

      簡要描述:Sxxx.Z.C,壓電升降掃描臺,Z軸掃描運動
      緊湊型 “S 系列“ 標準版系,Z 方向大行程

      • 產品型號:Sxxx.Z.C
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2024-06-20
      • 訪  問  量:1809

      詳細介紹

      壓電·單維掃描運動 Sxxx.Z.C

      ? 緊湊型單軸Z軸方向運動,電容位置閉環控制


      Z 方向運動范圍 100-300 um

      外形尺寸,40 mm x 40 mm x 18 mm

      閉環定位精度優于1 nm (開環版本可選)

      最大負載 500 g

      支持無磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級

      壓電升降掃描臺,Z軸掃描運動——詳細參數:



      壓電升降掃描臺,Z軸掃描運動——尺寸圖

      壓電升降掃描臺,Z軸掃描運動


      多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含:

      S —— 掃描標準系列;

      SD —— 高動態系列;

      SH —— 高負載系列。

      S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應用場景,支持電容閉環傳感,可選無磁/高真空/超高真空選件升級。



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